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공정플라즈마 기초와 응용

Alfred Grill 지음, 정진욱 옮김

청문각

2003년 09월 29일 출간

정가 17,000원

페이지 300 Page

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1장 플라즈마 기초

2장 저온 플라즈마 발생

3장 플라즈마 화학작용

4장 플라즈마 장치

5장 플라즈마 진단

6장 표면 개질을 위한 저온 플라즈마 공정

7장 PECVD로 코팅 증착

8장 플라즈마 증진 식각

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공정플라즈마 기초와 응용 - Alfred Grill 지음, 정진욱 옮김

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